在曝光的圆晶片上加上少量的水,这听起来真是一个非常容易实现,而且充满了天才想法的主意。
说干就干,两个人连睡觉都懒得睡了,先是一通计算,然后又开始捣鼓起实验仪器来。
经过计算,只要在圆晶片上加上1毫米的薄水层,193纳米的深紫外光就可以变成134纳米。①
也就是说,她们终于有希望做出更细的尖刀了。
等到第二天一大早,王聪推开实验室的门,就看见两个蓬头垢面的疯女人,正围在实验桌前转个不停。
他一愣,傻傻问:你们什么时候来的?
老娘压根都没回家!一夜没睡,蒋芸的脑子却异常亢奋,就连平日里大学教授的矜持都忘光了,她一把把王聪扯到实验台前头,你快过来看看这个设计是不是有什么问题,老是做不到最佳值。
王聪面前是一排被拆得七零八落的零件,多半都是实验失败的半成品,保守估计,这两位一夜之间就用完了价值几十万美元的耗材。
饶是王聪如今自诩见多识广,也知道实验室不缺钱,心里也忍不住狠狠的抽了一下。
你们做什么了?他问,这也太浪费了吧。
就算如今经费充足,大家都是节省惯的人,也不会随随便便在短时间内挥霍掉这么多耗材,总要计算再计算,谨慎再谨慎,才会继续进行下一轮实验。
但是听说了井熙的新想法,就连最老重持成的王聪也激动起来,甩着膀子也开始从材料柜里一批批的拿材料,开机做实验。
这法子如果真能成,机器甚至都不需要做太大改动,就能直接提升整整59个纳米的制程,省下来的经费,怕不能过亿!
相比之下,区区几十万的耗材,真算不上什么了。
不得不说,在实验制备上王聪还是有把子天赋的,实验室其他人都赶不上,他一上手就很快找到几处小问题,数据也一下子就漂亮起来。
忙忙碌碌小半个月,新的浸入式光刻机UV-02终于大功告成,这也就意味着,在192纳米光刻机还没有完全进入市场的时候,DAWN已经拥有了整整领先一代的新机型。
井熙并不急着放出这台巨无霸,UV-01的利润,她还没吃够呢。
与此同时,兰洪波那边也传来了好消息,机器抛光,终于见到曙光了。
灵活的机械臂微微弯曲,在一个很小的活动范围内,却能变幻出无数种姿态,每一点压力都被精确的反馈给传感器,然后调整角度和研磨力度,打磨出无与伦比的光滑镜头。
洁净度距离你的要求还有些差距,兰洪波倒是很谦虚,但是已经比得上一般的熟练工了,最重要的是,它的效率更高,三天差不多就能磨出一套镜片。
而在原来的工厂里,六名顶尖的工人,一年才能磨制出10套镜头。